近年、複数のセンサノードが相互に接続され，ネットワークを形成するセンサネットワークが実現されつつある。その中で温度センサはガス装置や工作機械内での多点温度測定、医療機器における検体の温度測定等、多くの場所で利用されており、極小スペースで温度センサを実現できるIC温度センサの高精度化は多くのアプリケーションで期待されている。そこで0.18μｍCMOSプロセスにおいて負の温度特性を持つ電流生成回路とカスコード構成を利用する事により、感度３．２ｍV/℃まで高感度化したIC温度センサ回路を試作し実測評価を行った。本研究ではその結果について報告する。