現在、IC中の回路動作とセンサ動作は異なるシステムで構築されるため、全体の小型化は困難である。そこで両機能を兼ね備える素子として、MOSFETに注目した。MOSFET型センサとして考案した８角形MOSFETは一般のMOSFETと同様のGate端子に加え、8角形の各辺にそれぞれ出力端子を一つずつ取り付けた9端子構造となっている。8角形MOSFETは通常の回路動作を担い、それに加え複数の物理量を検出するセンサ動作が可能である。さらに回路への組み込みを想定し、ディジタル回路の一部として利用できる8角形CMOSインバータ型センサ素子を考え、本研究では、本素子を温度による閾値電圧の変化を利用した温度センサとして利用し、動作解析と特性評価を行った。