疾患が原因で生じる人体振動を、高分解能なMEMS慣性センサを用いて早期診断するシステムの実現が期待されている。実現のためには、センサの小型・高感度化が求められる。今回、MEMS慣性センサと市販の容量-ディジタル変換ICを組み合わせた慣性センサモジュールを試作し評価した。評価の結果、印加する加速度の大きさに比例して、容量変化が増加する特性を確認した。市販センサと試作センサの性能を比較すると、市販センサの加速度ノイズ密度は0.48-mG/√Hzであるのに対し、試作センサは0.22-mG/√Hzであった。市販センサに比べて本試作センサの方が低ノイズであることを確認した。(1-G = 9.8-m/s2)