間欠動作技術は，VLSIシステムの低電力化手法であり，大量のセンサノードの長期間動作を可能にする設計手法として注目されている．しかし，既存のクロック源は，起動時間が長く，オフチップ部品の水晶を必要とする．本稿では，間欠動作技術を用いたVLSIシステムに向けた高速起動可能なフルオンチップ弛張発振器を提案する．提案回路を0.18-um CMOSプロセスにより試作・評価した結果，1 us以内で高速起動し，発振周波数は32.6 MHz，消費電力は300.6 uWで動作した．抵抗・キャパシタトリミングを行った10チップの発振周波数は，平均32.5 MHz，分散0.2 MHzであり，0.6%の周波数精度を達成した．