一般に１００ＧＨｚから１０ＴＨｚまでの周波数帯域をテラヘルツ（ＴＨｚ）領域と呼び、この領域の電磁波は電波と光波の中間の性質を持つことが知られている。電波のように紙やプラスチックを透過し、光波のようにレンズやミラーで空間内を自在に取り回すことができる。この独特の性質を利用して、人体への影響の少ない非破壊秘匿物検査への応用などが期待されている。しかしＴＨｚ領域において、安価で集積化が容易なディテクタの欠如が問題となっている。そこで、本研究ではＣＭＯＳ技術を用いたテラヘルツディテクタ及びイメージングアレイの設計及び評価を行った。その結果を報告する。