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ポスターセッション発表概要
高電圧化CMOS太陽電池を利用したEWODアクチュエータの自立型無線駆動に関する研究
○岡本 有貴,森 功,久保田 雅則,三田 吉郎(東京大学)
低電圧駆動可能な表面張力制御アクチュエータのCMOS太陽電池による光無線駆動を提案する。
液滴を電圧で駆動できるエレクトロウェッティング(EWOD)手法を、化学・バイオ向けの大規模システムに応用するためには、駆動電圧と配線数増加の課題に取り組む必要がある。
筆者らは室温生成可能な高誘電体Ta2O5を利用した低電圧駆動EWOD素子と、CMOSポストプロセスにより高電圧を発生できるSi太陽電池とを用いて、プレパラートのようにサンプルを簡単に置き換えられるデバイスを提案する。投稿時点までに、独立して作製したEWOD素子と太陽電池とを接続し、光指示による液滴駆動を行うことに成功した。
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