サブミリメートルの距離分解能を有するToF距離イメージセンサについて報告する。高距離分解能化が進むにつれて画素間の制御クロックスキュー問題が顕在化し、２次元アレイ上での同時距離計測が難しくなるが、これをカラム並列スキュー補正回路によって改善を試みた。
有効画素 132x120画素のイメージセンサを試作し、32mmの範囲で距離分解能0.3mmが得られた。画素間のスキューを1/20にまで低減させ、 ２次元アレイ上での同時距離イメージングに成功している。また、更なる高距離分解能化に向けてのノイズ解析を行った結果についても報告する。