電子機器におけるセンサの利用率は高く、ライフケア、ヘルスケア分野への応用が期待されている。センサとして利用される抵抗等の受動素子は検出レンジの関係から駆動電圧や専有面積が大きいが、集積回路の基本素子であるMOSFETを用いることで小面積、低駆動電圧で利用できる。本研究では温度検出センサに着目し、従来のMOSFETに計測端子を加えた9端子MOSFET型温度検出素子の検出動作および温度特性の評価を行った。その結果、温度検出感度は測定する端子間の距離によって電位差が26.4mV、半分の距離では8.12mVと距離が離れているほど感度がよく、MOSFETの動作領域によって感度を調整できることがわかった。