電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
CI-1-1
AlGaN深紫外LEDの高効率化の現状と展望
平山秀樹(理研)
深紫外発光ダイオード(DUV-LED)は、殺菌・浄水、医療をはじめとした幅広い応用分野において期待され、今後の大きな市場展開が予測されている。本研究では、AlGaN/AlN系半導体の結晶成長技術を開拓することにより、深紫外における高効率発光を実現し、実用可能な高効率・深紫外LEDを開発してきた。本稿では、光取出し効率(LEE)改善の取り組みと、20%を超える外部量子効率(EQE)の実現について紹介し、今後のさらなる高効率・高出力化への展望ついて議論する。