電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
C-13-1
エレクトロスプレー法による有機薄膜太陽電池の活性層製膜における基板温度の影響
◎丹菊大輝・小林大輝・森 竜雄・清家善之(愛知工業大)
溶液を帯電霧化させ、微細な霧化液滴を得るエレクトロスプレー(ES)法は曲面を有する有機デバイスの薄膜の形成に利用することができる。ES法で製膜した表面形状はスプレーした液滴が着弾し乾燥するために直径15~20nmの液滴痕が観測される。この液滴痕はキャリアの取り出しに影響を及ぼすと考えられる。本報告では加熱した基板上に製膜を行うことで表面へ及ぼす影響を調査した。製膜した素子はAFMによる活性層の表面粗さ解析及びデバイス特性の評価を行い、基板の加熱温度に比例して面粗さが推移したので報告する。