電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
C-10-3
Fluidic Self-Assemblyの歩留まりを制限する要因の検討
◎水戸俊宏・前澤宏一・森 雅之・中野友寛(富山大)
異種材料デバイス集積技術は,これまで蓄積されてきた半導体ナノプロセス技術を新しいアプリケーション分野に展開するために重要な技術である。この最も有望な技術の一つにFluidic Self-Assembly (FSA) がある。我々は,Gaをバンプとして用いたFSA 技術を提案したが,本方法の歩留まりはかなり低く,その利点を活かすには至っていない。歩留まりを制限している要因として,FSA前には,リセス中にGaバンプが存在しているが,FSAを行うと,その殆どが消失してしまった。これを抑えるため,添加する酸の濃度,溶液温度を変えて実験を行ったが,Gaバンプの表面を活性化させつつ,その溶出を抑えることは困難であった。現在,これを満たす溶液について探索を行っている。