電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
C-4-33
Bi-level etchingによるInP系リング共振器の作製と評価
水島裕亮・駒込泰輝・荒 雄也・◎清水大雅(東京農工大)
Bi-level etchingによるInP系リング共振器を作製した.既報告のリング共振器より小さい曲げ半径50 umをもつリング共振器の作製と共振特性の取得に成功した.