電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
C-4-29
高密度実装に向けたコヒーレント通信用高感度InP系受光素子の90°ハイブリッド縮小化
○沖本拓也・海老原幸司(住友電工デバイス・イノベーション)・八木英樹(住友電工)・岡本 悟・田村 彰・櫻井謙司・山崎功一朗・西本頼史・竹内辰也・堀野和彦・山崎靖夫(住友電工デバイス・イノベーション)・江川 満(住友電工)・米田昌博(住友電工デバイス・イノベーション)
我々は, コヒーレント受信デバイス向けに導波路型フォトダイオード(PD)と90°ハイブリッドをモノリシック集積したInP系集積受光素子を実現してきた. 次世代の超大容量システムに向けては, PDの高速化だけではなく, モジュールへの高密度実装に向けた更なる小型・高集積化への取り組みが欠かせない. 素子サイズ縮小の鍵となる90°ハイブリッドの短尺化には, 曲げ導波路における曲率半径縮小が有効であるが, 曲げ領域での伝搬損失増加によるPDの受光感度低下が懸念される. 今回, 90°ハイブリッドの出力側S-bend導波路にRaised-sine構造を採用し, 低損失かつ短尺・縮小化された90°ハイブリッド集積受光素子を実現, 高感度特性を達成したので報告する.