電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
C-4-27
MOVPE再成長技術を用いたInP系モノリシック集積光デバイス
○江川 満・金子俊光・八木英樹(住友電工)・米田昌博(住友電工デバイスイノベーション)
ネットワークトラフィックの増大に伴い,光伝送部品に搭載される半導体光デバイスの高速化,小型化,低消費電力化への要求は高度化しつつあり,それを実現する手段として集積化技術への期待が大きい.本稿では,光通信システムの発展と共に進展してきた,MOVPE再成長を用いたInP系モノリシック集積光デバイスの作製要素技術を振り返り,そのコヒーレント通信用光デバイスへの応用例について,筆者らの取り組みを紹介する.