電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
C-4-18
III-V/SiハイブリッドSOA集積に向けたハイブリッド/シリコン2段テーパ導波路のテーパ長依存性
○立花文人・鈴木純一(東工大)・菊地健彦・井上尚子・八木英樹(住友電工)・Eissa Moataz・御手洗拓矢・雨宮智宏・西山伸彦・荒井滋久(東工大)
Si プラットフォーム上への III-V 族半導体集積は、光ルータな どの機能を有する大規模な光集積回路を実現するための有効な アプローチとして注目を集めている。我々は、ウェーハ直接接合 技術を用いた III-V/SOI ハイブリッドデバイスを提案しており、そ のためには異なる2 つのモードを持つ III-V/SOI ハイブリッド領域 と Si 導波路間の高い光結合が必要である。今回、テーパ長 を変えて光結合効率の評価を行ったので、ご報告する。