電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
C-4-16
2D-FDTD法による表面回折格子の散乱係数解析とその薄膜DRレーザ特性への影響
○吉田崇将・中村なぎさ・方 偉成・雨宮智宏・西山伸彦・荒井滋久(東工大)
近年、LSI内部の配線層における発熱や信号遅延が問題となっている。このような問題の解決策として、光配線の導入が期待されている。光配線用の低消費電力・高効率光源として、我々は半導体薄膜レーザを提案・実現してきた。先行研究において、浅い表面回折格子を有する薄膜分布反射型(DR)レーザで高い微分量子効率を得たが、回折格子散乱係数と素子特性の関係は確認されていない。今回、2次元時間領域差分(2D-FDTD)法を用いて薄膜DRレーザの回折格子の散乱損失解析を行い、そのレーザ特性への影響を解析したのでご報告する。