電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
C-4-3
GaAs/AlOx膜の選択的ドライエッチングによるモノリシックフォトニック結晶レーザアレイの電気的分離
◎XIAOLONG CONG・YIFAN XIONG・谷 佳樹・森藤正人・梶井博武・丸田章博・近藤正彦(阪大)
従来の短距離通信における様々な問題と制限を解決するために、我々はWhispering Gallery Mode(WGM)を励起できるフォトニック結晶CirDレーザを提案し、違う半径をもつCirDレーザ共振器を一つの導波路と結合させることによって波長多重通信(WDM)を実現すると考えている。このような素子を電気的駆動する場合、各共振器が互いに影響せず独立動作させるために、共振器の間で電気的分離させる必要がある。本研究では、まずGaAs/AlOx膜に対して高い選択性をもつドライエッチングプロセスを実現した、次にこの技術を用いてCirDレーザ共振器の間に電気的分離構造を作製し、違う共振器間の電気的分離を実現した。