電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
C-3-60
シリコンPDを用いたCO2ガスセンシング
○五井一宏・石倉徳洋・大道浩児(フジクラ)
シリコンフォトニクスを利用した小型で低コストなガスセンシング用光集積素子が注目されている.この検出用PDとして、シリコンとシリカで構成されたシリコンPDを利用することで,製造プロセスの簡略化により一層のコスト低減が期待される.本稿ではシリコンPDを用いてCO2ガスセンシングを試みた.この基礎実験結果をシリコンPDの設計及び特性と併せて報告する.