電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
C-3-37
小孔付き半密閉空間を有する微気圧センサにおけるステップ応答の小孔面積依存性
○小野 英・大河正志・佐藤 孝(新潟大)
本研究では、津波発生時に生じる微気圧変動の検知を目的とした微気圧センサの開発を行っている。本センサは、ダイヤフラム型圧力センサをベースにして、ダイヤフラム下部に小孔付き半密閉空間を作りつけた構造となっている。小孔によって半密閉空間内外への気体の移動が制限されるため、瞬時的な圧力変化に対して、一時的に半密閉空間内外に圧力差が生じる。そのため、センサを設計する上で、本センサのステップ応答特性が重要となる。本研究では、理論解析、数値流体解析、実験の3つの方法によって、センサのステップ応答を算出あるいは測定し、応答特性と小孔面積の関係について考察を行った。その結果、3者に定性的な一致が見られた。