電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
C-3-8
Nb2O5を用いた導波路型DBR共振器の製作
○稲森 翔・端山喜紀・武田正行・西澤武志・中津原克己(神奈川工科大)
本研究では強誘電性液晶 (FLC:ferro-electric liquid crystal) と光導波路を組み合わせた研究を行ってきた。FLC材料は大きな屈折率変化、比較的高速な応答速度、自己保持特性の特徴を持つ。我々はこれまでに微細な周期構造であるGratingにFLCを装荷したSi-Grating導波路を用いて波長選択動作の実証に成功している。導波路のコア材料に従来用いていた屈折率の高いSiからFLCとの屈折率差が小さいNb2O5にすることで、エバネッセント成分を増大させることができ、FLCの屈折率変化による効果増大が期待できる。我々は反応性DCスパッタリング装置を用いてコア材料であるNb2O5を成膜した、低損失な導波路を得ている。
初期検討としてFLC装荷Nb2O5導波路とGratingによる分布ブラッグ反射器 (DBR:distributed bragg reflector) を用いた導波路型波長選択フィルタの提案を行った。今回、基本要素となるNb2O5を用いた導波路型DBR共振器の製作、及び評価を行ったので報告する。