電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
C-3-4
モスキート法による面発光素子直上への光導波路実装
◎中村 純・石榑崇明(慶大)
オンボード光インターコネクトの実現に向けて,ポリマー光導波路を用いた光配線板が期待されている.当研究室では,ポリマー光導波路の簡便な作製方法として,屈折率分布(GI) 型円形コアを形成できるモスキート法を提案している.本研究では,モスキート法を用いて,コアの3 次元配線の基礎となる基板面に対して鉛直方向のコア形成工程を検討した.基板に平行な方向のコア形成位置精度を検証し,その結果を元に,実際に面発光レーザチップ直上へのコア形成・実装を試みた.コア径を大きくし,コアの位置ずれに対するトレランスを広げたことで,レーザ出射光のコアへの結合を確認した.