電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
BI-8-2
超低消費電力データ収集システム実現に向けたCMOS混載SiGe-MEMSセンサの開発
◎小島章弘・富澤英之・柴田英毅(東芝)
現在のIoTは、様々な事業分野での活用が期待され、センサ端末の数は爆発的な伸びが予測されいる。データ収集システムが広く普及するためは、環境発電技術との組み合わせによるシステムの自立電源化が強く求められ、環境発電の高効率化とシステムの低消費電力化を実現する超低消費電力なデータ収集システム開発を行っている。低消費電力化に対応しCMOS回路の直上にMEMS構造を形成するため、膜応力を制御可能な低温poly-SiGe膜堆積技術を開発した。SiGe材料を適用したSiGe-MEMSセンサは、Si-MEMSセンサよりも2倍以上の高感度化が可能であり、1/20以上の低消費電力化を実現した。このCMOS混載化技術は、IoT時代の超低消費電力センサの実現に向けて非常に有望だと考える。