電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
B-1-100
LTCC基板を使った準ミリ波帯ハイブリッドMEMSフェイズドアレイアンテナの基礎検討
◎八木剛至・伴野友彦・古塚 岐・鈴木健一郎(立命館大)
今日、IoT無線通信が汎用化するに従って、高性能な通信技術としてフェイズドアレイアンテナ(PAA)に注目が集まっている。PAAは入力するRF信号の位相を電気的に制御してアンテナ指向性を変化させる技術であり、機械構造を持たないために長期にわたって安定である。今回、回路パターンを見直して、より低損失な移相器を実現することにした。我々は、先にMEMSスイッチを搭載する基板としてVia作製が容易なLTCC基板を用いて移相器を作製したが、基板表面の粗さが大きいために大きなスイッチ駆動電圧を必要とした(2)。今回、基板の改善によってスイッチ電極間のギャップを6 umから2.2 umに縮小して駆動電圧の低減をはかった。この移送器を用いてハイブリッドPAAの試作評価を行った。