電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
A-1-7
サーボ型MEMSセンサ用AD変換器における基準電圧動的低減技術
◎古林優希・大島 俊(日立)
サーボ型MEMS加速度センサにおいて、MEMS素子の変位がサーボ制御によりゼロ制御されることを利用して、逐次比較AD変換器の実装面積と電力を低減できることを回路シミュレーションで示した。
サーボ型MEMS加速度センサは、MEMS素子の変位がゼロ制御されるとAD変換器の入力振幅が小さくなるため、AD変換器の基準電圧を低減することで量子化誤差を低減できる。この量子化誤差低減分を、AD変換器の熱雑音(kBT/C 雑音)仕様の緩和に割り当てることで、逐次比較AD変換器内の容量DA変換器の容量値を1/2 以下に低減できるため、実装面積を半分以下に低減できる。さらに、熱雑音仕様の緩和にともない、逐次比較AD変換器内のコンパレータの電力も半分以下に低減できる事を示した。