電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
CI-1-1
直接接合技術の進展と光デバイス・集積応用
○西山伸彦・林 侑介・鈴木純一・荒井滋久(東工大)
将来の大規模光集積回路を目指した研究開発が盛んである。その中心にあるのがシリコンフォトニクス技術であるが、シリコンはその特性上発光素子を形成することは困難である。そのため直接接合技術が重要になっており、多くの研究成果が発表されている。直接接合技術は様々な手法が存在し、アプリケーションも多岐にわたる。本講演では、直接接合技術を概観した後、その技術、特に我々が利用しているプラズマ活性化接合技術を利用した光デバイス、回路特性について報告する。