電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
C-14-11
テラヘルツイメージングの高速化に関する検討
◎礒野友輔(阪大)・菊地真人・久々津直哉(アイレック)・永妻忠夫(阪大)
テラヘルツ波(周波数:0.1~10 THz)を用いたイメージングは,高い透過性とミリメートル程度の空間分解能を有する.これらの特徴から,生産現場における異物混入や欠陥品の検査装置へ応用が期待されている.しかし,検査装置への応用では,生産ラインで高速に移動する被写体に対して,高速かつ高空間分解能なイメージングが求められる.そこで,我々は高速に移動する被写体を模擬するため,連続テラヘルツ波(600 GHz)イメージングシステムに,高速回転ステージを導入した.そして,被写体の回転速度3.1~7.5 m/sにおいて空間分解能の評価を行った.加えて,被写体の回転速度7.5m/sにおいて空間分解能2.5 mmの高速イメージングを達成した.