電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
C-13-8
イオンアシスト蒸着法による銅とPETフィルムの接着強度改善
神野友樹・田中邦明・○臼井博明(東京農工大)
PETフィルム表面にイオンアシスト蒸着により銅薄膜を形成した。その結果イオン加速電圧を増大すると膜の付着強度が改善された。TEM観察及びIR分析の結果、イオン照射による界面のアンカリング効果及び基板の結合切断によるラジカル形成が付着強度改善に寄与するものと考えられる。