電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
C-13-3
電気泳動堆積法によるアルミナ-樹脂複合膜の作製
○青木裕介(三重大)
金属上への高放熱性絶縁膜の形成実現への試みとして,フレキシブルかつ耐熱性に優れるポリジメチルシロキサン(PDMS)系有機・無機ハイブリット材料をバインダとして用いた電気泳動堆積法による堆積膜形成が試みられてきた.本発表では,用いるアルミナ粒子の粒径,モルフォロジーの違いが堆積膜の構造に与える影響について調べた結果について報告する.