電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
C-10-1
純水噴霧洗浄における静電気発生要因とその対策
○清家善之・丹菊大輝(愛知工業大)・小林義典・宮地計二・甘利昌彦(旭サナック)・森 竜雄(愛知工業大)
電子デバイスの洗浄工程において、ガスと共に純水をスプレーする二流体洗浄方式や純水を加圧しノズルより噴霧するという高圧ジェット洗浄方式が多くの工程で採用されいる。いずれの洗浄方法も純水を霧化するために静電気障害(ESD: Electro Static Discharge)を生じ、使用できる工程が限定されるという課題がある。前報では高圧ジェットからスプレーする純水の静電気量を試作したファラディケージを用いて測定し、スプレーする液滴の径が小さく、速度が速いと帯電量が多くなることを示した。今回は、スプレーによって正極に帯電した純水を、高電圧を印加した誘導帯電素子内部を通過させることによって、純水の帯電量を減少させる方法を発案し、実験でその効果を確かめた。