電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
C-4-8
薄膜分布反射型レーザの高電力変換効率動作
◎平谷拓生・井上大輔・冨安高弘・福田 快・中村なぎさ・雨宮智宏・西山伸彦・荒井滋久(東工大)
LSI上部配線における信号遅延などの問題を解決するためにオンチップ光配線を提案しており、今回その光源である薄膜分布反射型レーザにおいて、最大電力変換効率14.6%が得られたのでご報告する。電力変換効率の改善のために屈折率結合係数の低減と抵抗値の低減を行った。まず、これまでの構造の約半分程度の屈折率結合係数とすることで、散乱損失を低減し効率の向上を図った。また、p側電極端と活性層端の距離をこれまでの約半分とすることで微分抵抗を約半分程度に低減した。これらの結果、実際に試作した活性領域長40 μmの薄膜分布反射型レーザでは前面外部微分漁師効率36%および最大電力変換効率14.6%が得られた。