電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
C-3-29
InAlAsエッチストップ層を導入したInP/InGaAsPハーフリッジ導波路型偏波変換器の設計と試作
◎小林竜馬・Hassanet Sodabanlu・杉山正和・中野義昭・種村拓夫(東大)
偏波多重コヒーレント方式や偏波変調方式など,光の偏波状態を積極的に利用する光通信技術が注目される中,偏波変換器をモノリシックに集積したコンパクトかつ安価な光送受信器が求められている.これまで著者らは,InP系レーザとの互換性が高いハーフリッジ型偏波変換器を提案し,研究を進めてきたものの,エッチング深さに対する誤差耐性が十分でなく,歩留まりの改善が課題であった.今回,プロセス誤差耐性を改善する目的で,InAlAsドライエッチストップ層を導入したハーフリッジ型偏波変換器を新たに設計し,素子の設計と試作を行ったので報告する.