電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
C-3-21
光検出器アレイを用いたFMCW方式物体形状計測に関する研究
◎山口航平・飯山宏一(金沢大)
光周波数が掃引された半導体レーザを光源に用いるFMCW方式光距離計測は、構成が簡便であり高い分解能をもつ。本研究ではFMCW方式光距離計測を応用した物体形状計測システムの開発を目的とする。マイケルソン干渉計を構成し、測定対象からの反射光と鏡からの反射光の干渉信号を光検出器で受光する。この干渉信号からビート周波数を計測し測定対象までの距離を算出する。このとき複数の光検出器が等間隔で配列された光検出器アレイを用い、各素子での干渉信号のビート周波数から距離分布を一度に計測することで物体の形状計測を行う。また、同じ実験系を用いて得られる干渉信号の位相差から微小な距離計測が行えることを示す。