電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
C-2-29
平面回路校正精度を向上する電気信号センシングを用いたプローブ位置合わせ技術
◎坂巻 亮・堀部雅弘(産総研)
通信機器などのモバイルでは平面回路が多く利用されており、その特性の評価にはRFプローブを用いた計測技術が利用されているが、ミリ波帯での測定精度の確保が困難であった。これまでに平面回路計測における不確かさ解析を実施し、校正時のプローブ位置のバラつきが主たる要因である事を示した。プローブの基準位置は顕微鏡により目視で決定する手法が用いられているため作業者によるばらつきが大きい。そこで校正時のプローブの基準位置を再現性高く決定する手法の開発を行なった。プローブコンタクト位置のわずかなズレは特に、ミリ波帯でのSパラメータ測定結果に顕著に表れる。逆に言えば、Sパラメータを検出することで、プローブの位置を厳密に決定できるため、電気センシング技術によるプローブの基準位置の決定手法を開発した。