電子情報通信学会ソサイエティ大会講演要旨
A-6-10
チップデータ上でIPセル内の密度分布を表示するシステム
○亀井智紀(TOOL)
LSIチップデータ内で配線密度差が大きいとCMP平坦化が困難になる.近年,IPセル内の高密度とチップデータの低密度の差が,CMP検証において密度勾配のルール違反となるケースが増加している.そこでIPセル内の配線密度分布をチップデータから俯瞰して表示するシステムを作成した.IPセルはチップデータ内に階層的に配置されるため,IPセルの配線密度表示はオフセット位置,回転,ミラー(反転)等の属性を考慮する.そのうえでGDSII等のレイアウトデータ形式で,配線が完了していないチップデータに重ね合わせている.これによりIPセルの密度分布を考慮しながら,チップデータの配線作業が可能になる.