電子情報通信学会総合大会講演要旨
CI-4-8
金属微粒子ナノシートの大面積パターニング
○龍崎 奏・斎藤 昴・pangpang wang・岡本晃一・玉田 薫(九大)
金属微粒子二次元膜は、微粒子の大きさや微粒子間距離を制御することでプラズモン共鳴波長を変化させることができるため、様々なデバイスへの応用が期待されている。金属微粒子のデバイス応用において重要となる技術の一つが、微粒子膜の大面積パターニングであるが、金属微粒子膜は電子線リソグラフィーやフォトリソグラフィーのプロセスには絶えられないため、大面積パターニングの作製は難しいのが現状である。本研究では、AgMy 表面の一部を両端に SH 基を持つ 1.16-ヘキサデカンジチオール(DT16)に置換することで、微粒子間をDT16によって架橋させたジチオール置換銀微粒子(AgDT16)二次元膜を作製し、リソグラフィーに耐える微粒子膜の作製を行った。