電子情報通信学会総合大会講演要旨
C-12-24
CMOS混載型静電マイクロミラーのデジタル制御方式の評価
◎丸山智史・池田 誠(東大)
本研究では,静電駆動型マイクロアクチュエータを制御対象とし,MEMSデバイスが追従できない速度でスイッチを切り替えることによる時分割方式で駆動と変位検出を行う.数値解析ソフトウェアMatlab/simulinkで作製した解析モデルと実デバイスを用いて,提案するデジタル制御方式の検討及び評価を行った.