電子情報通信学会総合大会講演要旨
C-10-16
Sub-1G検出へ向けた積層メタル3軸加速度センサの基礎検討
○山根大輔(東工大)・小西敏文(NTT-AT)・年吉 洋(東大)・益 一哉(東工大)・町田克之(NTT-AT)
3軸の加速度を一つの錘で高感度検出可能な積層メタルMEMS(microelectromechanical systems)加速度センサを提案した.設計目標値はX,Y,Z軸それぞれにおいて,検出範囲を±3 G,機械ノイズ(Bn)を10 μG/√Hz以下とした.今回はCMOS(complementary metal-oxide semiconductor)後工程の電解金めっきプロセスを用いて原理検証デバイスを試作し,その基礎評価を行った.デバイス評価の結果,各検出軸のBn実測値は目標性能を達成した.以上より,単一錘で3軸検出可能なMEMS加速度センサの高感度化実現の見通しを得た.