電子情報通信学会総合大会講演要旨
C-10-3
液体原料SiO2による高安定Si表面パッシベーション
◎萩原千拡・永吉 浩(東京高専)
従来の熱酸化膜に代わる安価で効率的な表面パッシベーション方法として液体原料Perhydropolisilazane (PHPS)を用いたSiO2パッシベーションを提案している.水蒸気アニールを導入することで高周波CV測定においてCVカーブの大きなマイナスシフトを観測し,このことから膜中の多量の正固定電荷の存在が示唆された.実効少数キャリアライフタイムも大気中に比べ水蒸気アニールにより大幅な改善が見られ,最大値ではケミカルパッシベーションを超える大きな値を獲得した.これは膜中の固定電荷による電界効果パッシベーションが効果的に生じたためと考える.さらに薄膜で形成したサンプルは実効ライフタイムの高い安定性を示した.