電子情報通信学会総合大会講演要旨
C-6-3
インクジェット法を用いて作製した有機透明導電膜の処理方法の検討
◎川原和也・新田敦司(鹿児島高専)
透明導電膜とは「透明であり,電気を流す」という特性を持つ薄膜である.その主原料としてはITO(酸化インジウムスズ)が多用されているが,曲げに弱く,フレキシブルなデバイスには向かない.著者らは,フレキシブルデバイスに使用されることを目標にした透明導電膜の材料として,導電性高分子材(PEDOT/PSS)に着目した.本研究では,PEN基板上に市販のインクジェットプリンタを用いて,PEDOT/PSS薄膜を成膜する.これまで,基板のUV/O3洗浄,各層毎及び成膜後の熱処理,極性溶媒を用いた処理が薄膜の表面状態,特性に関係することを報告した.今回は作製した膜に対し,熱処理温度や極性溶媒の塗布方法等についての検討を行ったので,報告する.