電子情報通信学会総合大会講演要旨
C-4-3
非対称導波路型位相シフタによるInP系90°ハイブリッド集積受光素子の低チャネル間感度偏差
◎沖本拓也・八木英樹・増山竜二・櫻井謙司・西本頼史(住友電工デバイス・イノベーション)・菊地健彦(住友電工)・堀野和彦(住友電工デバイス・イノベーション)・江川 満(住友電工)・米田昌博(住友電工デバイス・イノベーション)
コヒーレントレシーバの小型化ならびに高感度化に対し, 我々はバットジョイント再成長によるInP系90°ハイブリッドとpin-PDをモノリシック集積した受光素子を実現してきた.次世代の大容量長距離伝送に向けては, 伝送信号のさらなる多値化に伴う差動出力信号の偏差(CMRR)の抑制が求められ, これには受光素子のチャネル間感度偏差の低減が必要とされる.今回, 90°ハイブリッドに非対称導波路型位相シフタを採用することで, 低チャネル間感度偏差と安定した製造性を実現した.