電子情報通信学会総合大会講演要旨
C-4-2
高感度・低暗電流動作 共振型25Gbps-APD
○竹村亮太・中路雅晴・石村栄太郎・綿谷 力(三菱電機)・山本祐司・松岡裕益(メルコセミコンダクタエンジニアリング)・竹見政義(三菱電機)
共振型DBR構造を採用することで感度を向上させ、25Gbps動作に必要な広帯域・高感度・低暗電流を満たすAPDを実現した。