電子情報通信学会総合大会講演要旨
C-3-57
コアトップのドライエッチング加工による導波路過剰損失の予備的検討
○坂田亮介・田邉和大・姜 海松・浜本貴一(九大)
将来の光ファイバ伝送容量を飛躍的に増大させる技術として、空間多重伝送(SDM)技術の研究開発が活発化している。SDM技術の実用化に重要な導波路型LPモード変換デバイスは水平方向だけでなく垂直方向へも強度・位相分布を有することに起因して、特にLP21モード以上の高次モードに対応したデバイス構造の実現は比較的難しい。垂直方向へのモード拡張を実現する手法として、これまでに導波路垂直方向に段差を設けた多モード光干渉現象の利用を提案しており、この干渉現象実現のための段差構造の形成にはドライエッチングによるコアトップ加工を検討している。しかしコアトップがプラズマに曝されるため、プラズマダメージによる過剰損失が懸念される。そこで、コアトップ加工にて生じる過剰損失を評価したので報告する。