電子情報通信学会総合大会講演要旨
C-3-46
導波路型三原色合波器の設計と作製
中尾 慧・辻野謙太・横川修一・田中彩恵・林口翔子・○勝山俊夫(福井大)
レーザビーム走査型ディスプレイは、カラー映像や画像を表示するために、三原色レーザビームを、光合波器を用いて1本のビームにし、レーザビーム走査用ミラーを用いて、スクリーンに投影することが必須となる。これまでの光合波器は、レンズ、プリズムやミラー等の光学部品を複数個組み合わせているために、複雑な構造を伴い、小型化が困難であるという大きな問題があった。ここでは、合波器の超小型化を目的に、光導波路を基本とした三原色合波器を設計し、実際に半導体微細構造作製技術を用いて、Si基板の上に合波器を形成した。そのサイズは、長さ6 mm、導波路部のみの幅は、0.06 mmと、従来のミラー等を用いた合波器に比べて、2桁程度の大幅なサイズダウンが達成された。