電子情報通信学会総合大会講演要旨
C-3-23
立体湾曲型シリコン光導波路による低損失かつ低波長依存ファイバ垂直結合器の開発
○吉田知也・面田恵美子・渥美裕樹(産総研)・田島渉吾(明大)・西 孝・武井亮平(産総研)・三浦 登(明大)・森 雅彦・榊原陽一(産総研)
シリコンフォトニクスは光インターコネクションを実現する技術として期待され、既に要素デバイス性能は実用化レベルを達成しつつある。しかし、外部光部品実装のための光結合技術や、ウェハレベルテストの実現が大きな課題となっている。これらの課題を克服する表面型光結合器として、我々はシリコン導波路の先端部を表面方向に立体湾曲した表面結合器を開発している。本方式では光波が立体湾曲部を伝搬して垂直方向に進行するため、低損失かつ低波長依存性の表面結合を実現できる。イオン注入技術を応用することで小型化を実現しており、曲率半径3ミクロン程度の立体湾曲導波路の作製に成功している。本報では、その光学特性について報告する。