電子情報通信学会総合大会講演要旨
C-3-22
平面内異種材料光集積回路に向けたクリスタル/アモルファスSi導波路間結合器の結合効率向上
◎伊東憲人・久能雄輝・林 侑介・鈴木純一・雨宮智宏・西山伸彦・荒井滋久(東工大)
本研究グループでは、低温成膜が可能でありながら結晶Si(c-Si)とは異なる特性を持つ水素化アモルファスSi(a-Si:H)をc-Siと同一面内に集積することにより異なる機能を実現することを目的に、両導波路間を高効率で結合させる構造を設計し、前回、その特性を評価、1.5dBの挿入損失を得た。今回、方向性結合器型構造において0.2dB以下の低損失特性を実現したので、ご報告する。