電子情報通信学会総合大会講演要旨
C-2-66
シリカガラスポスト壁導波路型バンドパスフィルタにおける外部Q調整手段の検討
○上道雄介・額賀 理・中村 圭・韓 旭・細野亮平・官 寧(フジクラ)
シリカガラス内部のブラインドビアによるガラスポスト壁導波路型バンドパスフィルタの外部Q調整手段を提案し、電磁界シミュレーションによる検討を通じてその妥当性を確認した。本技術はまた、薄膜樹脂層を用いた狭線幅のマイクロストリップ線路を入出力構造に持つため、狭ピッチな入出力部を持つ半導体との集積化にも有効な技術である。