電子情報通信学会総合大会講演要旨
B-18-14
薄膜土壌水分プロファイルプローブにおける線間容量除去手法
◎繁田 亮・興梠智紀・川原圭博・浅見 徹(東大)
圃場内の水分の空間的分布を把握するために土壌水分プロファイプローブが用いられる.ただし,従来のものは総じて高価であった.そこで,我々は薄膜実装技術を用い大判PET フィルム上に静電容量式土壌水分センサとなる導電パターンと配線を一体成形で実装することで低価格化を目指している.しかし,一体型であるため,センサ端子で観測される静電容量にはセンサ本来の値と配線間に発生する静電容量の和となっており,そのままでは分離不可能である.また,その混入が深度方向の解像度を下げてしまうという問題があった.そこで,本研究では,配線部分のみの導電パターンを追加することで,配線に起因する静電容量を除去する手法を提案する.