電子情報通信学会総合大会講演要旨
B-1-124
反り上がり構造を有するミリ波帯オンチップアンテナの基礎検討
◎樫田健汰・塩見英久・岡村康行(阪大)
無線通信用の集積回路がきわめて小型となり、センサネットワークやIoTなどへ向けたSoCの開発が盛んにおこなわれている。このような無線チップにアンテナを集積化することができれば、その応用範囲はさらに広がると期待されている。しかしながら、p型シリコン基板の電気抵抗率に起因して低下してしまうオンチップアンテナの放射効率の改善が強く望まれている。本報告では、MEMS加工技術によりアンテナ導体を反りあげ、p型シリコン基板から遠ざけた構造を有するアンテナについてシミュレーション検討を行った結果を述べる。