電子情報通信学会総合大会講演要旨
CS-4-3
有機強誘電体薄膜を用いた力・赤外線センシング
○石田謙司・小柴康子・三崎雅裕(神戸大)・堀江 聡(センサーズアンドワークス)
近年におけるセンサ開発動向を紹介した後、反転操作可能な電気双極子をもつ有機強誘電体を用いて応力および赤外線を検知する有機薄膜センサについて概説する。成膜条件の最適化により強誘電性発現に有利なⅠ型平行配向薄膜を作製し、その基礎物性およびデバイス特性評価を実施した。素子変形や応力、接触に対する圧電応答特性、熱や赤外線に対する焦電応答特性の基礎評価に加え、人の動きや存在を検知する有機センサの開発について紹介する