3Dマイクロスプリングを用いた静電駆動可変プラズモニック素子を作製した．金属周期構造を介したプラズモン共鳴励起法が持つ強い入射角度依存性に着目し，Au周期構造を形成したマイクロプレートの傾斜によってプラズモン励起効率を変調した．素子構造はフェムト秒レーザ多光子造形法とAu成膜によって作製し，マイクロプレートの湾曲を抑制するために3Dマイクロスプリングを配置した．静電力により，励起効率はゼロから理論値の80%程度まで連続的に変化した．